加热盘
应用于TF制程中，产品拥有高平面度及洁净度要求，拥有极高的温度控制能力，进而影响薄膜的沉积能力。
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产品特点
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质量管理
产品特点
高温度均匀性
T±(0.5~1)%
电子束焊接、真空钎焊、精密加工
特种涂层
氟化膜层
国内首家具备此镀膜能力的零部件供应商
高洁净度
(Particle@0.2um<15ea/cm2)
质量管理
富创质量管理秉承"好的质量是设计、制造出来的"为原则,关注客户端到端的质量服务,从研发、设计、过程全生命周期质量管理关注各环节中入口质量、过程质量、出口质量,以保证整体质量可控,最终构建成以以预防为主的质量文化,助力客户产品更具竞争力。
